КАТЕГОРИИ: Архитектура-(3434)Астрономия-(809)Биология-(7483)Биотехнологии-(1457)Военное дело-(14632)Высокие технологии-(1363)География-(913)Геология-(1438)Государство-(451)Демография-(1065)Дом-(47672)Журналистика и СМИ-(912)Изобретательство-(14524)Иностранные языки-(4268)Информатика-(17799)Искусство-(1338)История-(13644)Компьютеры-(11121)Косметика-(55)Кулинария-(373)Культура-(8427)Лингвистика-(374)Литература-(1642)Маркетинг-(23702)Математика-(16968)Машиностроение-(1700)Медицина-(12668)Менеджмент-(24684)Механика-(15423)Науковедение-(506)Образование-(11852)Охрана труда-(3308)Педагогика-(5571)Полиграфия-(1312)Политика-(7869)Право-(5454)Приборостроение-(1369)Программирование-(2801)Производство-(97182)Промышленность-(8706)Психология-(18388)Религия-(3217)Связь-(10668)Сельское хозяйство-(299)Социология-(6455)Спорт-(42831)Строительство-(4793)Торговля-(5050)Транспорт-(2929)Туризм-(1568)Физика-(3942)Философия-(17015)Финансы-(26596)Химия-(22929)Экология-(12095)Экономика-(9961)Электроника-(8441)Электротехника-(4623)Энергетика-(12629)Юриспруденция-(1492)Ядерная техника-(1748) |
Травление в щелочном растворе хлорита натрия
Травление в растворе перекиси водорода. Травление в растворе хромовой кислоты. Добавляя к хромовому ангидриду воду, получают необходимую концентрацию хромовой кислоты— 20—30%. Кроме того, добавляют приблизительно 10% H2SO4 и Na2SO4. При температуре 40—60°С скорость травления меди равна 30—40 мкм/мин. Реакция травления протекает в соответствии с равенством
ЗСu + 2CrO42- + 16Н+ → 2Сг3+ + ЗСu2+ + 8Н2О.
Применение Н2СгО4 целесообразно для травления в лабораторных условиях фольгированных диэлектриков, покрытых защитным сплавом Sn — Pb. К достоинствам раствора относится устойчивость покрытий на основе сплава Sn — Pb неэвтектического состава. Широкому применению этого травителя препятствуют необходимость очистки от очень агрессивных веществ, трудности регенерации и высокая стоимость.
При травлении в растворе перекиси водорода применяются добавки серной или соляной кислоты. В растворе перекиси водорода с серной кислотой (2—8% Н2О2 и 5— 10% H2SO4) протекает реакция
Cu+H2O2+2H+→ Cu2+ + 2H2O
Кроме сульфата меди не образуется других побочных продуктов. Содержание меди в растворе может достигать до 100 г/л. При распылении используемого раствора медь выпадает в осадок в виде сульфата. В качестве защитных покрытий применяют резисты трафаретной печати, фоторезисты и обычные металлические покрытия (Sn — Pb, блестящее лужение, Аu и Ag). В растворе соляной кислоты перекись водорода обеспечивает непрерывное регенерирование системы, что позволяет осуществлять работу по закрытому циклу
Cu + 2HCl + H2O2 →CuCl2 + 2H2O; CuCl2 + Cu + 2HC1→ 2H[CuCl2]; 2Н[CuCl2] + Н2О2 → 2CuCl2 + 2Н2О.
Простота выделения меди, возможность регенерации и устойчивость практически всех защитных покрытий — преимущества травителей на основе Н202 Недостатки состоят в необходимости точного контроля ванны вследствие опасности перекиси водорода, резком росте времени травления при накоплении меди в растворе и химическом разрушении металлических емкостей и частей оборудования.
Смесь из NaClO2, NH3, (NH4)2CO3 или другой соли аммония и Н2О при температуре 20 — 45°С растворяет медь, образуя комплексы. Так как NH3 достаточно летуч, то особое внимание уделяют поддержанию необходимого состояния ванны для травления. Для вентиляции рабочих мест и поддержания чистоты на смежном оборудовании, требуются особые затраты. Время травления для слоя меди толщиной 35 мкм составляет 1 мин, но оно увеличивается с ростом содержания меди в растворе и при содержании меди 40 г/л составляет уже 4 мин. Раствор полностью истощается при содержании меди 50 г/л Преимущество травителя на основе щелочного раствора хлорита натрия заключается в возможности применения практически всех защитных покрытий Резисты трафаретной печати и фоторезисты не должны быть щелочеустойчивыми Регенерация отработанного раствора исключается; с помощью нейтрализации на основе НСl можно перевести медь в осадок в виде карбоната или соли, соответствующих применяемому соединению аммиака. Процесс травления должен быть организован таким образом, чтобы возможное химическое воздействие травителя на травящийся материал было использовано наиболее оптимально Травильные установки должны выполнять следующие функции:
Рис.24. Принцип различных способов травления. а — травление погружением; б — травление центрифугированием; в — травление разбрызгиванием: 1— ванна; 2 — травитель; 3— заготовка; 4 — механизм движения; 5 —. крыльчатка; 6— транспортерзаготовок; 7 — система сопл; 8 — системаподачи травителя.
§ обеспечивать движения травителя или заготовки или же их совместное движение; § создавать аэрацию травителя (оптимальное разбрызгивание); § обеспечивать температурную стабильность; § обеспечивать удаление травителя (в ряде случаев с регенерацией); § обеспечивать промывку, нейтрализацию и сушку заготовки; § обеспечивать непрерывный процесс при массовом производстве. Различают травильные установки, в которых травление производится погружением, центрифугированием и разбрызгиванием. Наиболее целесообразными являются травильные установки с вертикальным разбрызгиванием. На рис.24 приведена такая установка, в которой заготовки помещаются в держателе в виде выдвижной кассеты между верхними и нижним разбрызгивателями. Заготовка с помощью роликового транспортера с переменной подачей перемещается в камеру для травления, после прохождения которой она попадает в камеры для нейтрализации и промывки. Такие линии могут содержать устройства для удаления защитной маски и сушки заготовок. Сопла располагаются таким образом, чтобы травитель разбрызгивался под давлением приблизительно 4 кгс/см2 перпендикулярно поверхности заготовки. Для достижения равномерности травления осуществляют колебание струй с помощью соответствующего, движения держателей сопл. Метод разбрызгивания обеспечивает самую большую скорость, травления. Благодаря этому и перпендикулярному падению раствора подтравливание относительно мало Особое внимание необходимо обратить на очистку заготовки от травителя. Благодаря интенсивной многократной промывке, нейтрализации и сушке обеспечивают полное удаление остатков травителя. В противном случае возможны коррозия и ухудшение электрических свойств.
Дата добавления: 2015-03-29; Просмотров: 550; Нарушение авторских прав?; Мы поможем в написании вашей работы! Нам важно ваше мнение! Был ли полезен опубликованный материал? Да | Нет |